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国产MEMS加速度传感器突破关键技术获胜

2012-10-17 15:29:49中国机械网阅读量:606 我要评论


  日前,由*第13研究所研制的MEMS加速度传感器突破了高精度SOI工艺加工、圆片级可调阻尼封装、低功耗ASIC*集成电路等关键技术,在招标项目中,一举战胜美国PCB公司和瑞士奇石乐等传感器厂商。这是国产MEMS加速度传感器在招标中获胜,标志着中国电科MEMS加速度传感器已达到*产品水平。
  
  MEMS加速度传感器具备高精度、高分辨率(分辨率优于10μg)、低噪声(13所2.5μg,国外同类产品约5μg)、低功耗、低温漂、抗过载和超小体积(体积是国外同类产品1/4)、重量小于1.2克(国外同类产品约10克)等技术特点,主要技术指标全面超越国外同类产品。
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