白光光学干涉仪是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。它采用了CCD取代了显微镜中的目镜，可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌，也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌，样品表面形貌展示得更加清晰，图像更大，观察更加方便。
SuperViewW1白光光学干涉仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。
产品功能
1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；
2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；
3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；
4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
主要应用领域
1、用于太阳能电池测量；
2、用于半导体晶圆测量；
3、用于镀膜玻璃的平整度（Flatness)测量；
4、用于机械部件的计量；
5、用于塑料，金属和其他复合型材料工件的测量。
SuperViewW1白光干涉仪的双通道气浮隔振系统，使得其既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、磨损情况、腐蚀情况、波纹度、台阶高度、表面缺陷、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
