框架宽度为80mm、100mm
标准行程,25到500mm
重复位置精度为+/- 0.1微米
集成磁性(1.0微米),光学(1.0,0.1,0.01微米)或模拟正弦/余弦编码器选项
速度为2000 mm / sec
可选4或8极线性电机传动系统选件
有效载荷78 N
推力为24 N
集成和可调零位和限位感应
提供标准多轴配置
具有每个精度级的斜率校正值的激光测试数据
MSR系列高精度有铁芯直线电机驱动精密双方导轨式线性定位器;标准功能及配件:
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产品序列 mSR 轮廓宽度 80 mm、100mm 传动轴类型 直线电机 螺节距 80 mm轮廓宽度无铁芯伺服电机,100mm有铁芯伺服电机 轴承类型 双方轨轨道 冲程长度 500mm 工作速度 3000 m/sec 加速度 29.4 m/sec2 双向重复性 0.1 μm 工作周期 100分百 负荷能力 117 N 逆变负荷能力 117 N 轴向负荷能力 50 N 符合规格 洁净室(1000级 - 标准/ 10级 - 可选) 回馈类型 是(编码器:0.01μm,0.1μm或1μm分辨率光学增量/1μm分辨率磁性/1Vp-p正弦/余弦/) (100mm轮廓宽度才有0.05μmBiSS-C) 防护等级 IP00