PTL270溅射薄膜压力传感器
PTL270溅射薄膜压力传感器本产品广泛用于石油、化工、污水处理、恒压供水、环保、机械、冶金、电力、*等领域进行表压,绝压的测量,也可测负压,并适用于各种场合全天候环境及各种液体、气体、蒸汽压力的测量与控制。
产品优点:
适于大批量生产、成本低、输出大、适于微压、低压品种;产品缺点:
1,由于它的敏感电阻是由半导体硅扩散而成,因此它的电阻温度系数极差,当温度超过85℃温度补偿非常困难,低于-45℃时扩散硅的电阻率变化及大且无规律,无法满足环境耐温要求;
2,由于半导体硅的易脆性以及采用隔离膜充硅油封装的原因,产品不能抗高强度的震动和冲击,频率响应也较低。
而溅射薄膜式压力传感器一大突出特点是受温度影响小。在温度变化100℃时,零点漂移仅为0.5%。其温度性能远优于扩散硅式压力传感器。所以溅射薄膜式压力传感器将逐步取代扩散硅式压力传感器。
溅射膜压力传感器的典型结构示意图如,产品由基座、弹性敏感元件(芯体)、引线支架、真空密封连接器、信号处理电路和电器连接器等组成。
溅射膜压力传感器芯体的原理,流体压力P作用在不锈钢弹性膜片上,使膜片产生变形﹐采用离子束溅射和刻蚀技术在膜片上制作了组成电桥的薄膜电阻,膜片变形使电阻阻值发生变化,电桥输出与压力成比例的电信号。通过电路对电桥输出的信号进行放大、处理、误差数字化修正,再变换成标准电信号输出。