详细介绍
德国PI紧凑型旋转台
&&RS-40 V7紧凑型旋转台,适用于真空
精确定位
RS-40 V7紧凑型旋转台,适用于真空
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适用于高达10-7 hPa的真空
无限旅行范围
重复精度达87 µrad
直径20毫米
参考开关
标准级旋转台
蜗杆传动。孔径为20毫米直径。参考开关。
高真空应用的更高质量
在这种情况下,将使用适合于高真空的特殊组件,例如电动机,测量系统和限位开关。此外,表面由无涂层的铝制成,驱动螺钉和导轨由不锈钢制成。这样,达到了PI V7真空等级,这意味着高达10 -7 hPa。
应用领域
真空室。研究。Beamline仪表。显微镜检查。电子组装和检查。
减少放气,特别是在真空环境下使用
显着的是,为了润滑导向装置和驱动螺杆,使用了排气量极低的材料。因此,烘烤温度可达到80°C。
驾驶
带减速机的步进电机。
德国PI紧凑型旋转台北京汉达森专业代理
A-68x PIglide RLA旋转平台,带空气轴承,大孔径
无摩擦,电动
A-68x PIglide RLA旋转平台,带空气轴承,大孔径
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直径365毫米的运动平台,直径260毫米的光圈
低调
偏心和平整度<300 nm
产品总览
PIglide RLA系列的直接驱动平面旋转平台设计为具有的精度。它们外形小巧,通光孔径大。RLA位移台具有出色的行程精度,平坦度和摆动性能。
编码器(可选)
值编码器提供明确的位置信息,可立即确定位置。这意味着在接通过程中不需要引用,从而提高了操作期间的效率和安全性。
应用领域
断层扫描,束线系统,晶圆计量,晶圆检查,测量技术,检查系统,校准,扫描。
由于无摩擦运动,不会形成任何颗粒,这使PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。
三相转矩电机
无刷
低齿槽转矩
配件和选件
增量或编码器
PIglide过滤器和空气制备套件
单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器
多轴/自定义设置
花岗岩制底板和减振系统