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苏州尚纯半导体设备有限公司
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设备用途：用来将4、5、6寸硅片化学腐蚀和清洗
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
项目数据
适用对象硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
半自动硅片腐蚀清洗机
设备用途：用来将4、5、6寸硅片化学腐蚀和清洗
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
项目 | 数据 |
适用对象 | 硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它衬底晶片 |
基本规格 | 机台封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm） 机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材 机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm） |
选配模块 |
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排风系统 | 排风强劲合理设计，为了排风效果达到要求，排风通道内设有风量导流板，为了方便操作人员及时根据情况调节排风量，操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式排风口再配合机台视窗上的可调节进气模块，从而达到使用效果 |
机台特点 |
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制程控制 | PLC控制方式 |
操作界面 | 全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏） |
槽体数量 | 根据制程要求选择定制 |
设备制造 | 苏州尚纯半导体设备有限公司 |
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