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全自动RCA清洗机/苏州尚纯

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更新时间：2020-07-29 08:51:39浏览次数：255次

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苏州尚纯半导体设备有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：9条

所在地区：江苏苏州市

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产品简介

全自动RCA清洗机
适用产业：半导体等
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
项目数据
适用对象硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
砷化镓晶片2-6inch 25P

详细介绍

全自动RCA清洗机

适用产业：半导体等

控制模式：手动控制模式、自动控制模式

项目	数据
适用对象	硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 蓝宝石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化镓晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它衬底晶片
基本规格	机台封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SU`S 矩形材机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm）
选配模块	腐蚀液恒温系统腐蚀液循环过滤系统超（兆声）系统全自动供液系统更全面的全自动烘干系统消防系统可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理
机台特点	刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性 QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定集成自动干燥系统管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品保修便利，非期货库存品工厂内均建立安全库存品全程自动化控制，几何曲线加减速运动，冲击小运行平稳，机械臂定位精度高多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全客制化设计能力佳，搞设计能力满足客户制程工艺需要
机械臂装置	Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内）机械手传送定位精度 ≤0.3mm 机械臂走向右进做出或左进右出
制程控制	PLC控制方式
操作界面	全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）
槽体数量	根据制程要求选择定制
设备制造	苏州尚纯半导体设备有限公司