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无油涡旋真空泵

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更新时间:2022-10-21 16:15:54浏览次数:634

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产品简介

GWSP系列无油涡旋真空泵由泵头、电机、机座等构成。泵头含有动、定涡旋盘、曲轴、密封件、风扇和泵壳等。涡旋盘为圆形平面和其上伸出的一条或几条渐开线螺旋形盘壁组成,定涡旋盘与动涡旋盘组成涡旋盘付构成它的基本抽气机构。工作过程中动、定涡旋盘互不接触,依靠相对运动形成容积不断缩小的新月形吸气腔和压缩腔,通过吸气、压缩、排气的循环,使气体从抽气口吸入、排气口排出,实现对被抽腔体抽真空。
该泵不

详细介绍

特点
抽速范围广,从1升/秒到17升/秒
适用于电源电压与频率,110/220/380/460V,50/60Hz
高效环保,不返油也不喷油,创造洁净真空和洁净工作环境
操作简单,能在大气压和真空之间频繁启动与关闭
低振动,低噪音,低能耗
重量轻、体积小
用途

镀膜,PVD/CVD/LPD

LED/LCD/激光管抽真空与封装
真空炉/单晶炉/烘箱
电子束焊接/激光焊接
手套箱/排气台
预处理室/样品传输室抽真空
激光管抽真空/封接
真空检漏/He质谱检漏
稀有/特殊气体回收/再循环
冷凝泵再生
分子泵前级
空间环境模拟
表面分析仪器/能谱仪/扫描电镜
光束线


技术指标

型号

GWSP75

GWSP150

GWSP300

GWSP600

GWSP1000

抽速

50Hz

l/s

1.0

2.0

4.3

8.7

16.6

l/min

60.0

120.0

258.0

522.0

996.0

m3/h

3.6

7.2

15.5

31.3

59.8

极限真空度

Pa

≤8.0

≤6.0

≤2.6

≤1.0

≤1.0

Torr

≤6.0×10-2

≤4.0×10-2

≤1.9×10-2

≤7.5×10-3

≤7.5×10-3

mbar

≤8.0×10-2

≤6.0×10-2

≤2.6×10-2

≤1.0×10-2

≤1.0×10-2

噪音

dB(A)

≤52

≤57

≤61

≤63

≤63

漏率

1×10-6mbar·l·s-1

大进/排气压力

MPa

0.1 / 0.13

工作环境温度

5~40

大水处理能力

G/day

50

60

单相
电机

功率

kW

0.25

0.25

0.55

0.75

--

电压

V

50~60Hz/110~115 : 200~230

--

转速

rpm

50Hz /1425; 60Hz /1725

--

接头形式

 

北美欧洲英国/爱尔兰印度

--

三相
电机

功率

kW

--

0.37

0.55

0.75

1.50

电压

V

--

50 Hz/200~230 : 380~415; 60 Hz/200~230 : 460

转速

rpm

--

50Hz /1425; 60Hz /1725

/排气口

 

KF25/16

KF25/16

KF25/16

KF40/16

KF40/16x2

外形尺寸

mm

405x225x260

430x250x280

490x290x340

520x316x360

580x360x400

净重

kg

15

18

27

31

52

冷却形式

风冷

其它

带气镇阀

 

使用注意事项

不能抽对人体有害或者易爆、易燃或腐蚀性气体,或者含有化学品、溶剂、以及能生成粉末的物质,以免由于爆炸或者燃烧引起人身伤害。
进气温度不能超过50℃,如果超过该温度,必须在进气管路上安装冷却装置,使进气温度低于50℃。

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