PTL270溅射薄膜压力传感器

  PTL270溅射薄膜压力传感器

PTL270溅射薄膜压力传感器本产品广泛用于石油、化工、污水处理、恒压供水、环保、机械、冶金、电力、*等领域进行表压，绝压的测量，也可测负压，并适用于各种场合全天候环境及各种液体、气体、蒸汽压力的测量与控制。

产品优点:
适于大批量生产、成本低、输出大、适于微压、低压品种;产品缺点:
1，由于它的敏感电阻是由半导体硅扩散而成，因此它的电阻温度系数极差，当温度超过85℃温度补偿非常困难，低于-45℃时扩散硅的电阻率变化及大且无规律，无法满足环境耐温要求;
2，由于半导体硅的易脆性以及采用隔离膜充硅油封装的原因，产品不能抗高强度的震动和冲击，频率响应也较低。
而溅射薄膜式压力传感器一大突出特点是受温度影响小。在温度变化100℃时，零点漂移仅为0.5%。其温度性能远优于扩散硅式压力传感器。所以溅射薄膜式压力传感器将逐步取代扩散硅式压力传感器。

  溅射膜压力传感器的典型结构示意图如，产品由基座、弹性敏感元件（芯体)、引线支架、真空密封连接器、信号处理电路和电器连接器等组成。

 溅射膜压力传感器芯体的原理，流体压力P作用在不锈钢弹性膜片上,使膜片产生变形﹐采用离子束溅射和刻蚀技术在膜片上制作了组成电桥的薄膜电阻，膜片变形使电阻阻值发生变化，电桥输出与压力成比例的电信号。通过电路对电桥输出的信号进行放大、处理、误差数字化修正，再变换成标准电信号输出。