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详细介绍
1、 低温探针台工作原理： 低温探针台可用来测试芯片、晶圆片和封装器件应用领域包括半导体、MEMS、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等探针可以施加直流、低频信号或微波信号等（可选一到八探针）高效率连续流低温恒温系统使用液氦或者液氮可使温度控制在3K到475K（可选600K）各类无制冷剂制冷系统（Basetemperature:5K,8K,10K等）可施加各类磁场（永磁体、电磁体和超导磁体） 2、低温探针台型号及技术参数如下： |
CPS-25-CF-HV-10K
无氦低温探测台
用于10K到460K
成本效益，稳定，可靠，使用方便 可达25mm直径的晶片
- 温度范围从4.5K到470K（0.1K或更好的精度和稳定性）
- 闭环循环制冷机
- 高达25mmx25mm样品表征
- 选择DC至67GHz的测量与合适的探头
- 4 微控探针臂（多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有可达4英寸X，1.75英寸Y和0.5的英寸Z
- 热锚定探针针尖
- 温控辐射屏蔽
- 改进真空等度的组件的
- 方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）
- 高频振动阻尼
- 定制的高水平，以适应各种的探测需求
详细参数
可达25mm，50mm以上100毫米
无液氦闭路循环制冷机，包括冷头，压缩机，制冷机和氦软管
温度范围：低于10K到480K
控温精度：0.1K
温度分辨率：0.001K
热锚探头武器和辐射屏蔽
chuck温控（加热）盘
变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案
同轴和环形照明LED照明
数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力
软件进行计算机控制和温度监控。几个温度测试序列是预编程和定制序列可以由终用户很容易地编程
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