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匀胶旋涂仪

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具体成交价以合同协议为准
  • 型号 WS-650Mz-8NPPB
  • 品牌
  • 厂商性质 代理商
  • 所在地 香港特别行政区

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更新时间:2020-02-26 11:14:53浏览次数:573

联系我们时请说明是化工机械设备网上看到的信息,谢谢!

产品简介

匀胶旋涂仪特色:
◆ 科研制备理想的匀胶机;
◆ 匀胶机由NPP或Teflon材质构造;
◆ 匀胶机分为150毫米,200毫米和300毫米三种腔体大小;
◆ 匀胶机可选择台式,立式和特殊环境内置式不同外形;
◆ 匀胶机的Z大转速可达10000RPM;
◆ 易编程的数码控制器(400/500型控制器);
◆ 可升级成为自动滴胶型匀胶机;

详细介绍

匀胶机(英文名:Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜
详细介绍:匀胶机(英文名:Spin Coater & Spin Processor)
行业俗称:匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机

 

一、产品概述
    650型匀胶机适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。MYCRO的MSC系列匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的*性和均匀性,这正是650型匀胶机的特点。

 

二、匀胶机工作原理
    匀胶机(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

 

三、匀胶机主要性能指标
1、腔体尺寸:12.5英寸 (381 毫米);

2、Wafer芯片尺寸:10-200mm直径的材料,方片178x178mm,小于10mm提供3mm的转接托盘);

3、转动速度:0-12,000rpm,

4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空载);

5、马达旋涂转速:稳定性能误差 < ±1%;

6、转速调节精度:<0.2rpm,重复性< 0.2rpm;

7、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;

8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;

9、高精度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%。

10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;

11、分辨率:分辨率小于0.5转/分,可重复性小于±0.5转/分,美国国家标准技术研究院(NIST)认证过的,并且无需再校准!]
12、配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹;

13、配套分析软件:SPIN3000操作分析软件;

14、*水平测试仪; 

15、两袋密封圈; 

16、废液接收单元;
 

可选配置:

IND构造为湿站系统设计,带远程控制;

OND构造为手套箱系统设计,带远程控制;

UD自动滴胶装置:UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒,

EBR(Edge Bead Remover):晶圆去边,机械装置;

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