详细介绍
气体质量流量控制器(MFC)在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括:电子工艺设备,如:氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。
- 主要技术指标
编号 | 项目 | MF-200C | MF-200M |
1 | 流量规格(N2) | 10sccm~30slpm | |
2 | 准确度 | ±1%F.S(Full Scale) | |
3 | 重复精度 | ±0.25%F.S(Full Scale) | |
4 | 响应时间 | ≤2sec(特别要求时:≤1sec) | |
5 | 耐压 | ≤90bar | |
6 | 工作环境温度 | 0℃~50℃ | |
7 | 输入输出信号 | 0~5V | 0~5V or 4~20mA |
8 | 供电 | +15Vdc or +24Vdc 350mA | |
9 | 漏率 | 1×10atm.cc/sec | |
10 | 使用范围 | 2~100%满量程 |