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INHA 气体质量流量计

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  • 所在地 晋中市

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更新时间:2018-01-19 12:01:35浏览次数:614

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产品简介

气体质量流量控制器,即Mass Flow Controller(缩写为MFC),是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体稳流装置,能在较宽的量程范围内快速而精确的控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微变化,也不会影响其正常的工作。原则上不需要温度和压力补偿。
特点:快速响应时间,准确率高,稳定的流量控制,压力范围广,尺寸小,连接方便,快拆快拧,交货周期短,优惠的价格性价比

详细介绍

气体质量流量控制器(MFC)在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括:电子工艺设备,如:氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。

  • 主要技术指标

 

编号

项目

MF-200C

MF-200M

1

流量规格(N2)

10sccm30slpm

2

准确度

±1%F.S(Full Scale)

3

重复精度

±0.25%F.S(Full Scale)

4

响应时间

≤2sec(特别要求时:≤1sec)

5

耐压

≤90bar

6

工作环境温度

0℃50℃

7

输入输出信号

05V

05V or 420mA

8

供电

+15Vdc or +24Vdc   350mA

9

漏率

1×10atm.cc/sec

10

使用范围

2100%满量程

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