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详细介绍
气体质量流量控制器，即Mass Flow Controller（缩写为MFC），是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而精确的控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微变化，也不会影响其正常的工作。原则上不需要温度和压力补偿。
（1）气体流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
（2）气体测量控制的自动化
- （3）可精确的定量控制流量
- 气体质量流量控制器（MFC）在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺设备，如：氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。
4.2工作原理
- 流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量（无需温度压力补偿）。
- 将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
- 分流器决定主通道的流量。
- 与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。
- 控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检测输出电+5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是（2~100）%F.S（程比为50：1）
- 主要技术指标
编号 | 项目 | MF-200C | MF-200M |
1 | 流量规格（N2） | 10sccm～30slpm | |
2 | 准确度 | ±1％F.S(Full Scale) | |
3 | 重复精度 | ±0.25％F.S（Full Scale） | |
4 | 响应时间 | ≤2sec（特别要求时：≤1sec） | |
5 | 耐压 | ≤90bar | |
6 | 工作环境温度 | 0℃～50℃ | |
7 | 输入输出信号 | 0～5V | 0～5V or 4～20mA |
8 | 供电 | +15Vdc or +24Vdc 350mA | |
9 | 漏率 | 1×10atm.cc/sec | |
10 | 使用范围 | 2～100％满量程 | |
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