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详细介绍
iXH 干式工业级真空泵系统
iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。
iXH 泵采用模块化设计，符合当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战有着路线明确的应对计划。
产品关键词：进口真空泵维修、爱德华真空泵维修、爱德华IXH3030真空泵
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