陕西臭氧脱硝设备专家臭氧脱硫脱硝是利用臭氧的强氧化性将烟气中的NOx、SOx氧化为更高价位的可溶水化合物再通过湿法洗涤吸收的一种新型脱硫脱硝同时脱除技术。应用臭氧氧化及尾部烟气洗涤，NOx脱除效率往往超过95%，SOx脱除效率接近100%。因目前臭氧制备及储存成本较高，限制了它的应用范围；国外已经出现相当数量的采用臭氧脱除工艺的石油精炼厂应用案例。近些年来，随着国家限制烟气排放标准的提高，我国也出现了一些采用此类工艺的机组。因此有必要对此工艺进行一些简单介绍。
陕西臭氧脱硝设备专家与传统的SCR脱硝工艺相比，臭氧脱硫效率可轻易达到SCR的脱除效率，且透过调整摩尔比、洗涤剂种类其效率是有可到达100%的。从成本上说，根据MARAMA2007评估数据报告，在保证NOx脱除效率为85%~95%的情况下，LoTOx运行用度为1700~1950美元/吨NOx；比SCR运行用度为2364~2458美元/吨NOx要低。此外SCR尚需要考虑氨逃逸问题，采用LoTOx工艺则不需要考虑，只因在洗涤流程中臭氧会被*阻隔。
相比较传统的湿法脱硫工艺，其产物直接是硫酸盐，而传统工艺的亚硫酸盐需要经过曝气手段强制氧化。而经由臭氧氧化后的高价位污染物具备更高的亲水性。因此烟气在塔内的停留时间也能大大缩短。相比传统湿法脱硫工艺，新型的LoTOx工艺的设备成本是很低的。