等离子废气处理设备是一门包含放电物理学、放电化学、化学反应工程学及真空技术等基础学科之上的交叉学科。
等离子废气处理设备根据风量来选择：风量是决定选型的重要因素之一，设备处理风量小于实际风量，则会造成部分废气未经处理就排放，
达不到排放标准；反之，由于处理风量大于实际风量，造成不 的处理费用，增加运行成本根据废气成分来选择：不同的废气成分要选用不同的设备型号，常见的废气成分不同设备都能处理，特殊的的成分就需要特殊的设备来处理了，否则很容易处理不达标；根据空间来选择：如果设备处理空间大，则直接选择性价比高的型号就行，如果受到空间限制，则应该选择体积小的设备型号来处理。
等离子废气处理设备净化作用机理包含两个方面：
一是在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间 足够打开一些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子；
二是等离子体中包含大量的 电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。
低温等离子体技术在环境工程中的应用：
随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多。这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染。这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生*的危害，工业废气的无控制排放使性的大气环境日益恶化。低温等离子设备因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。低温等离子废气处理设备在此情况下应运而生。
降解挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有很大的优势。但由于等离子体是一门包含放电物理学、放电化学、化学反应工程学等基础学科之上的交叉学科。
因此, 目前能成熟的掌握该技术的单位非常的少。大部分宣传采用低温等离子技术处理废气的宣传都不是真正意义上的低温等离子废气处理技术或根本达不到所要求的处理效率。
